产品中心

赋能国家半导体智造

AMHS产品 | 道达OHT

我们的产品

OHT(Overhead Hoist Transport):天车,是一种自动化搬送装置,能够在空中轨道上行驶,实现物料在设备装卸口之间的搬送;
WPS (Wireless Power Supply):非接触式供电系统,利用电磁感应原理,通过无线(非接触)方式向沿轨道移动的设备传输电力的系统;
OHTC(Overhead Hoist Transport Controller):天车控制系统,管理在轨道上行驶的天车,采用先进算法,功能全面,可实现1000+台车集控;
OHB(Overhead Hoist Buffer):位于轨道下方,用于物料暂存,可改善产品Queue time,提高产量。

我们的优势

采用道达自研WPS非接触式供电,技术领先;
采用自研边缘计算机控制系统控制,可存储地图和计算路径;
自研OHT控制系统,支持1000台以上OHT控制;
全系统采用冗余设计,包括电柜、网络、服务器等。

“腾龙”OHT(磁驱)

参数规格
支持载具FOUP/Frame FOUP/SMIF POD / Reticle/Cassette
尺寸781mm*430mm*1000mm
车重量106kg
供电方式WPS 非接触式供电(20kHz)
功率Max.900W
分岐方式分岐 roller & Guide
直线速度Max. 6.0 m/s
转弯半径400 mm
曲线速度Max. 1.0 m/s
高速过分歧合流3.5 m/s
定位精度±0.5 mm
振动<0.25 G
洁净度CLASS 1
加速度2.0 m/s²
减速度3.0 m/s²
负载重量16 kg
通讯协议E84、SECS/GEM Communication
通讯方式WIFI 6 802.11ax
安全规范SEMI Compliance
腾龙OHT

“麒麟”OHT(旋转伺服驱动)

参数规格
支持载具FOUP/Frame FOUP/SMIF POD / Reticle/Cassette
尺寸781mm*456mm*890mm
车重量118kg
供电方式WPS 非接触式供电(20kHz)
功率Max.900W
分岐方式分岐 roller & Guide
直线速度Max. 5.3 m/s
转弯半径500 mm
曲线速度Max. 1.0 m/s
高速过分歧合流Max. 3.5 m/s
定位精度±1 mm
振动<0.35 G
洁净度CLASS 100
加速度2.0 m/s²
减速度3.0 m/s²
负载重量16 kg
通讯协议E84、SECS/GEM Communication
通讯方式WIFI 6 802.11ax
安全规范SEMI Compliance
麒麟OHT