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AMHS产品 | 单元设备
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E-rack:电子货架:是在高洁净度车间使用的线边物料存储设备,具有读码和自动监测储位功能。
NTB(Near Tool Buffer):一种物料存储设备,置于设备端作为该设备的专属小型stocker。
Dummy Load port:用于对接天车,人员通过此load port 将载具从空中缓存(OHB)传出或将载具手动传上OHB。
OHB N2(Overhead Hoist Buffer N2 Charger):空中氮气充气设备,用于降低FOUP内湿度和氧气。