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AMHS产品 | Stocker 洁净立库

我们的产品

Stocker:是一种在高洁净度车间使用的物料存储设备。

解决的问题

减少设备闲置时间,加速物料流转速度;
最大限度减少人为污染,防止人为操作失误和损伤;
实现全流程自动化与智能化调度,提供精准的物料追踪与数据管理;
优化洁净室空间利用,降低人力成本和对人工的依赖。

我们的优势

采用自研WPS非接触式供电,无粉尘产生,保证洁净度;
自研晶圆机器人,国产化率高;
支持多种载具的存储,支持非标的客制化设计;
节拍快,存储效率高,最大吞吐量可达到225盒/小时。
STOCKER
项目规格参数
Hander(根据载具定制)FOUP/FOSB、SMIF POD、Cassette/Lotbox、Reticle
尺寸13640*1460*4550mm(可定制)
最大载荷(kg)16kg
振动<0.35G(Get control)
走行速度Max. 2m/s
升降速度Max. 2m/s
伸缩速度150mm/s
节拍15s(6m长度)
Crane的防呆sensor二重搬、在席、到位
棚位大小尺寸定制
通讯方式光通讯
供电方式WPS非接触式供电
厂务供电3P 380V