
| 项目 | 规格参数 |
|---|---|
| Hander(根据载具定制) | FOUP/FOSB、SMIF POD、Cassette/Lotbox、Reticle |
| 尺寸 | 13640*1460*4550mm(可定制) |
| 最大载荷(kg) | 16kg |
| 振动 | <0.35G(Get control) |
| 走行速度 | Max. 2m/s |
| 升降速度 | Max. 2m/s |
| 伸缩速度 | 150mm/s |
| 节拍 | 15s(6m长度) |
| Crane的防呆sensor | 二重搬、在席、到位 |
| 棚位大小 | 尺寸定制 |
| 通讯方式 | 光通讯 |
| 供电方式 | WPS非接触式供电 |
| 厂务供电 | 3P 380V |